美國YLOK依洛克進口高真空微調閥(又稱真空針閥)是靠螺桿傳動來調節錐形針和孔的縫隙長度，改變閥座流導值。是用來向真空系統中充氣并可準確調節進氣流量，以控制和調節系統內的真空度。適用的工作介質為不含顆粒灰塵的空氣及非腐蝕性氣體。高真空微調進氣閥能準確的控制每單位時間內氣體的流量泄露到真空腔室。此閥的截流孔變化是通過微調螺紋機械帶動閥針的上下位移來達到，從而精密的控制了閥門的氣體泄露量。本閥的動密封采用不銹鋼波紋管密封（1.4除外），保證了閥門動密封的可靠性。為了防止粉塵的進入，在閥的氣流入口，裝有過濾氣片，這樣大大提高了閥門的使用時間。本閥針的上下位移均有限位裝置，保證了閥針，閥座及波紋管的時間。閥們的適用介質為空氣及非腐蝕性氣體。為了讓用戶使用方便，本系列微調閥可帶有或不帶有截止閥，從而更進一步提高了針閥的使用及便于用戶操作

進口高真空微調閥產品特點

標準化、模塊化設計，易于更換及維修；

便于清潔的設計；

電磁閥采用節能設計，體積小。

進口高真空微調閥性能指標

可變漏率范圍：1000～１×10-5CM·S-1、此閥可滿足設備所需的全量程的泄漏調節；

對漏率的可變范圍進行無級控制、漏率：<1.0×10-7Pa·L·S-1、良好的閥位重復性；

烘烤溫度:120℃、工作溫度：80℃、微米比例尺，可對特定氣體的流量的零位設置進行重復調節。

進口高真空微調閥技術參數

公稱通徑(DN)：0.8、ΦD：22

小可調量(Pa.L/S)：1.3x10-2

大可調量(Pa.L/S):4000

適用范圍(Pa)：105～1.3x10-2

漏氣率(Pa.L/S)：＜1.3x10-6

介質溫度(℃)：-25～+80

主要件材料：閥體:1Cr18Ni9Ti

針:2Cr13

閥座:無氧銅不銹鋼

進口高真空微調閥主要性能指標

適用范圍(Pa)105～1.3x10-5Pa

閥門漏率(Pa.L/S)≤1.3x10-5Pa

開閉時間(S)DN≤6320；80≤DN≤20030；DN≥25048

介質溫度（℃）-25～+80(密封材料為丁橡膠)

-30～+150(密封材料為氟橡膠)

法蘭標準JB919

安裝位置：閥板密封面上端口接泵入氣口

安裝位置：閥板密封面上端口接泵入氣口